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    行業新聞
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    半導體廠務系統介紹

    來源:純水設備??????2020/10/15 14:20:22??????點擊:

    水處理設備http://www.newseo.netCleanroom System [ 潔凈室系統]

    a,內裝修工程:(高架地板工程、潔凈室隔墻板系統、鋁合金龍骨吊頂/ceiling grid、無塵涂裝、環氧地坪等)、壓差控制系統、ESD防靜電等;

    b,循環空調系統:(包括部分供熱與通風系統,比如MAU/OACAHUFFUDDCFCU、粗、中、高、超高過濾器、化學過濾器etc.、送氣風機、排氣風機etc.); c,FOUNDATION:防震機座、粉塵監測智能系統/DMS系統、風淋室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺、潔凈洗手器、潔凈衣架、潔凈電梯、正壓潔凈樓梯間系統、化學品儲存冷庫和壓縮機etc.

    Mechanical System [ 機械系統]

    中央動力,Central utility:Mechenical(熱水、冷凍水、軟水、工藝設備冷卻水PCW、生產上水、自來水﹑飲用水、一般蒸汽和潔凈蒸汽等管路供應系統;鍋爐、冷凍機、冷卻塔、空壓機等廠務設施)

    Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊氣體和大宗氣體]

    a,Bulk Gas:GAS YARD氣站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/天然氣)【包括普通和超純/精制氣體】,壓縮空氣(CDA)--有些FAB還將機臺用CDA和廠務設備用CDA 供應系統分開,呼吸空氣供應系統等;

    b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭):

    (1)易燃性氣體(Flammable Gas)

    (2)毒性氣體(Toxic Gas)

    (3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas)

    (4)惰性氣體(Inert Gas)

    (5)氧化性氣體(Oxide Gas)

    (6)低壓/保溫氣體(Heat G as)

    Water Treatment System [ 水處理系統]

    a,超純水供應系統、熱/溫純水供應系統、一次純水(RO)供應系統etc.

    b,工藝廢水處理(酸、堿、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、溫排水、純水回收、一般排水、TMAH顯影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. )

    c,辦公用給排水系統:飲用水供應、自來水供應、生活污水處理、雨水排放系統etc

    Exhaust System[工藝排氣系統]

    a,工廠SCRUBBER:酸、堿、有機VOC、粉塵、一般排氣etc.[有些FAB還包括了緊急排煙/事故排風系統]

    b,LOCAL SCRUBBER(一般附屬于工藝設備):依其原理大概可分成下列幾類(1)電熱水洗式; (2)燃燒水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。

    Chemical Dispensing System[化學品供應系統]

    包括化學品供應系統和化學品回收系統,具體使用的化學品種類根據每個FAB 產品的不同而不同:

    a,Chemical Dispensing System化學品供應系統

    酸性

    堿性

    有機溶劑

    氧化腐蝕性

    b,化學品回收系統:光刻膠resistSTRIPPER剝離液(EKCSST-A2ORPN311T106PGMEAPGME etc.)、異丙醇、硫酸廢液、硫酸銅廢液回收等

    Vacuum System [ 真空系統]

    真空系統包括工藝真空(Process Vacuum )、真空吸塵(Hose Vacuum)或者清掃用真空、設備真空Pumping-line/vent系統/Pumping-Exhaust系統。

    Power Supply & Automation System [ 電力供應及自動化]

    a,強電:高低壓供電(包括中央變電站和各終端變電站)ups電源供應系統(蓄電池組)、緊急柴油發電機系統、SSTS高速切換開關、VSS電容補償系統等、各類配電盤、照明(包括tear drop淚滴型照明燈具、黃光燈)、插座;

    b,弱電:各類動力、EHS方面的自控部分(包括各類弱電盤面)FMCS廠務監控系統(包括各sub-scada系統),【監控方面還有氣體監控系統(GMS)、氣體偵測系統(GDS)、有的廠是GMS+GDS=FMCS、有的廠GMSGDS會分開來的】、各類電氣接地、靜電防護系統etc.

    Construction [ 建筑結構]

    建筑結構相關(包含廠房維修),主要分為建筑和結構兩大塊(有些FABEHS 相關的防火門、逃生門、緊急疏散口、擋煙垂臂、升降平臺etc.也歸入此類)

    EHS System Control [ 環境健康安全]

    EHS涉及環境保護(污染物控制【三廢處理等】、有害物質控制【PFCCFCPFOSROHS指令等、WEEE等】)、健康(職業衛生)、工業安全、能源、治安保衛、ERC(ERT應急響應等)、風險管理【ISO14001OHSAS18001QC080000等】,EHS其它等。

    硬件涉及:消火栓設備、噴淋系統、漏液檢測系統、門禁系統、電話廣播系統、PHS系統、緊急對講機系統,感溫電纜報警系統、vesda、煙感熱感探頭、閉路電視系統/CCTV監視攝像頭、消防與觀光電梯、地震監控系統、SCBA呼吸面具、緊急沖淋、各類滅火器、PPE個人防護用具etc.

    Energy Saving[廠務節能]

    涵蓋所有廠務系統的節能降耗、cost saving/cost downVE提案、能源管理等。

    工業純水設備, 蘇州水處理設備醫用GMP純化水設備 醫用水處理設備

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